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前烘(pre-bake)

发布时间:2012-9-12 17:07:03   编辑:wangsq  来源:中华液晶网
提要: 前烘(pre-bake)

中文:前烘

英文:pre-bake

日文:

在LCD生产工艺中很多工艺施实前需进行事前加温处理,如光刻工艺中的前烘工序。前烘的目的是促使已涂的光刻胶膜内的溶剂挥发以增加胶膜与玻璃基板表面的粘附性。一般多采用红外炉低温加热,使其处于既干燥又未硬化的状态。这样,进行曝光时光刻胶仍可发生化学反应。

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