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去膜后清洗(post-cleaning of resist removal)

发布时间:2012-9-12 16:00:57   编辑:wangsq  来源:中华液晶网
提要: 去膜后清洗(post-cleaning of resist removal)

中文:去膜后清洗

英文:post-cleaning of resist removal

日文:

去膜后清洗指光刻工艺巾的清洗过程。一般是用碱液把刻蚀后玻璃上剩余的光刻胶去除,然后用滚刷擦洗玻璃,最后用搞纯水将玻璃上残留碱液与残胶冲洗干净。

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