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曝光扫描装置(pattern exposure system)

发布时间:2012-9-11 15:19:12   编辑:wangsq  来源:中华液晶网
提要: 曝光扫描装置(pattern exposure system)

中文:曝光扫描装置

英文:pattern exposure system

日文:

利用可见光、紫外光、电子束等在掩膜上描画而得到图形的装置。

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