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组合式设备(inter-back processing)

发布时间:2012-9-6 11:04:32   编辑:zhujiangyi  来源:中华液晶网
提要: 组合式设备(inter-back processing)

组合式设备(inter-back processing)

中文:组合式设备

英文:inter-back processing

日文:

与链式自动化生产线设备相比,组合式设备可节省昂贵的洁净空间,并广泛使用机械手,减少操作人员对洁净环境的影响。组合式设备的基板总进出口一般为一个,由中央部分的机械手负责把基板在四周的工序间传递。在TFT-LCD的溅射工艺、光刻工艺、清洗工艺中都可用组合式设备。

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