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电子束(electron beam)

发布时间:2012-9-5 17:16:18   编辑:wangsq  来源:中华液晶网
提要: 电子束(electron beam)

中文:电子束

英文:electron beam

日文:

通过对电子源(阴极)加热或施加电场而产生的电子发射并聚集成束而得到的射束叫电子束。电子束可以用电场或磁场进行缩小、放大、偏转或扫描等控制,故可以用于LSI图形的描画、微细图形的尺寸检查和器件特性检查等许多领域。
 

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